真空系統(tǒng)用于改變氣流方向，調節(jié)氣流尺寸，切斷或連接管道的真空系統(tǒng)元件稱為上海真空閥門。
真空閥在真空系統(tǒng)中的重要性
1、電源開關供氣
如下圖1所示，當閥1和閥4關閉，閥2打開后，機械真空泵Ⅲ對于容器I真空包裝，氣流通過預真空空氣管道；當閥門2關閉，閥門4打開時，真空泵可以單獨包裝擴散泵的真空；當閥門1和閥門4同時打開時，擴散泵和真空泵可以同時工作，并抽出容器時間，然后氣流通過擴散泵。由此可見，閘閥在這種操作中的重要性是電源開關供氣，改變氣流通過線路；
2、控制氣流大小
調節(jié)真空值在圖1中。調節(jié)閥門1的單流閥可以通過打開視角來調節(jié)通過管道的氣流大小。關閉閥門2和閥門4，根據(jù)排氣閥3可以給出真空泵。Ⅲ將通道放入空氣中；根據(jù)排氣閥5調節(jié)容器內的真空值；
3、定量分析打氣
如下圖2所示，夾層玻璃閥的柱塞泵中有一個一定大小的小孔。當小孔轉向右側與液化氣瓶連接時，小孔可以充滿高壓空氣；當它們轉向左側與真空泵容器連接時，容積的高壓空氣也被放入容器中，這也起到了定量分析和呼吸的作用。
真空閥的驅動形式主要包括以下幾種方式。
1、手動式
手動真空閥適用于小型真空泵的主要用途，自動化程度不要求，也常出現(xiàn)在一些實驗設備中；
2、磁移動式
磁移動真空閥由DC或交流電磁化鐵芯組成，完成流線圈姿勢，帶動閥板健身運動。由于流線圈新行程安排有限，規(guī)格小，但姿勢快，截止閥、排氣閥等。一般用于低真空管道。磁移動真空閥和氣動真空閥都適用于防御場合閘閥；
3、氣動
氣動真空閥是根據(jù)空氣壓縮推動的，結構緊湊，電源開關快，主要用于大中型真空技術中的長距離操作，以及多閘閥真空系統(tǒng)的復雜應用。但不適合小型真空系統(tǒng)使用，因為必須單獨使用氣動閥。
4、電和油壓式
電動真空閥是指由電機驅動的真空閥，而油壓是根據(jù)油等液壓推動的。這兩種真空閥都需要大功率的真空閥，都是真空系統(tǒng)中常用的真空閥，大中型工業(yè)化生產，技術自動化程度高。
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