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材料的放氣是真空閥總泄漏的重要組成部分。氣體的主要來(lái)源是吸附在真空閥部件內(nèi)表面的氣體；由于某種化學(xué)反應(yīng)，金屬內(nèi)部擴(kuò)散的氣體和金屬表面釋放的氣體。